第一台光刻机谁发明的

联华电子申请光刻机台系统及其液体存储槽的漏液检测方法专利,可...金融界2024年9月26日消息,国家知识产权局信息显示,联华电子股份有限公司申请一项名为“光刻机台系统及其液体存储槽的漏液检测方法”的专利,公开号CN 118689040 A,申请日期为2023年4月。专利摘要显示,本发明提供一种光刻机台系统及其液体存储槽的漏液检测方法,其中该光刻后面会介绍。

芯碁微装申请光刻机控制方法专利,提高光刻机的生产效率光刻机的控制方法包括:获取所有对位标记点的标记值;根据所述所有对位标记点的标记值确定所有对位标记点的分布区域;根据所述分布区域进行对位路径优化,以确定目标对位路径;根据所述目标对位路径控制光刻机平台移动至目标标记点。本发明的方法可以减少标记点的对位路径距离小发猫。

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江苏格微晶智能科技申请直写光刻机吸盘压板装置专利,能够提高直写...本发明公开了光刻机技术领域的一种直写光刻机吸盘压板装置,包括吸盘、安装槽和支撑梁,所述吸盘的右侧壁前后两侧开有移动槽,所述移动槽好了吧! 所述连接板的顶部前后两侧固定连接有第一气动杆,所述第一气动杆的顶端之间固定连接有第一连接杆, 该直写光刻机吸盘压板装置,结构设计合好了吧!

深圳国微福芯申请可降低对光刻机性能要求版图掩膜处理方法、光刻...金融界2024年11月11日消息,国家知识产权局信息显示,深圳国微福芯技术有限公司申请一项名为“可降低对光刻机性能要求的版图掩膜处理方法、光刻方法”的专利,公开号CN 118915379 A,申请日期为2024 年7 月。专利摘要显示,本发明公开了一种可降低对光刻机性能要求的版图掩小发猫。

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芯碁微装申请用于激光直写光刻机相关专利,避免激光直写光刻机在...金融界2024 年8 月14 日消息,天眼查知识产权信息显示,合肥芯碁微电子装备股份有限公司申请一项名为“用于激光直写光刻机的自动聚焦控制方法、曝光控制方法、光刻机和存储介质“公开号CN202410643597.5 ,申请日期为2024 年5 月。专利摘要显示,本发明公开了一种用于激后面会介绍。

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苏大维格申请光刻加密方法和光刻机专利,旨在解决加密图文分布受限...金融界2024年8月20日消息,天眼查知识产权信息显示,苏州苏大维格科技集团股份有限公司、江苏维格新材料科技有限公司申请一项名为“光刻加密方法和光刻机“公开号CN202310119742.5,申请日期为2023 年2 月。专利摘要显示,本发明提供一种光刻加密方法,包括以下步骤:S1,生等我继续说。

上海芯东来半导体科技申请高精度滑台组件及光刻机工作台专利,避免...本发明提供了一种高精度滑台组件及光刻机工作台,高精度滑台组件包括基座、滑台、滑台驱动部以及调节部;所述滑台用于承载晶圆载台;基座设有直线导轨,滑台安装于直线导轨,滑台驱动部连接于滑台以驱动滑台沿直线导轨运动。调节部的第一端连接于滑台驱动部,调节部的第二端转动后面会介绍。

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上海图双精密装备取得一种浸没式光刻机浸没流场维持装置专利,能够...本发明公开了一种浸没式光刻机浸没流场维持装置,包括浸液盘、稳流机构,所述浸液盘一端的进液接管侧面设有给液泵,所述进液接管外侧的浸等会说。 所述稳流机构包括第一缓流板、第二缓流板、加压喷头,所述第一缓流板、第二缓流板设在维持通道内壁一端,所述加压喷头斜向设在维持通道等会说。

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芯碁微装取得一种用于直写光刻机曝光工序的纠偏对位方法专利,可...金融界2024 年7 月26 日消息,天眼查知识产权信息显示,合肥芯碁微电子装备股份有限公司取得一项名为“一种用于直写光刻机曝光工序的纠偏对位方法“授权公告号CN114624970B,申请日期为2022 年2 月。专利摘要显示,本发明涉及直写光刻机领域,公开了一种用于直写光刻机的还有呢?

芯碁微装申请用于直写式光刻机的安全防护专利,与 PLC 软件联动达到...金融界2024 年8 月14 日消息,天眼查知识产权信息显示,合肥芯碁微电子装备股份有限公司申请一项名为“一种用于直写式光刻机的安全防护系统及方法“公开号CN202410699512.5,申请日期为2024 年5 月。专利摘要显示,本发明公开了一种用于直写式光刻机的安全防护系统及方法还有呢?

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